成都渗源科技助力晟光硅研半导体SYZ-V-20L超纯水系统成功投运

近日,成都渗源科技有限公司为西安晟光硅研半导体科技有限公司完成SYZ-V-20L实验室超纯水系统的安装调试,为这家专业半导体企业提供了符合SEMI标准的超纯水解决方案。

晟光硅研在半导体晶圆制备、器件封装等关键工艺环节对超纯水质量要求极为严苛。针对半导体行业对TOC、颗粒物和金属离子的特殊控制要求,渗源科技专业设计的SYZ-V-20L系统采用"双级反渗透+紫外+终端微滤"纯化工艺,产水电阻率稳定达到18.25MΩ·cm(25℃),TOC含量≤10ppb,颗粒物≤1个/mL,完全满足半导体精密制程的用水需求。

SYZ-V实验室超纯水机设备性能:
1.自动循环功能:在设置的时间间隙过程中进入自动循环,防止超纯水受到第二次污染,影响出水口的超纯水水质;
2.报警提示功能:当供水系统出现缺水、水箱液位过低、水质不达标等有声音提示和无声文字报警等;
3.数据追踪功能:储存2年内的设备使用数据,可追踪查询取水时间、取水量、取水的水质问题等数据;
4.定量取水功能:设备自带定量取水计量校准功能;
5.耗材更换提示:系统具备耗材更换报警功能,在耗材达到一定时间年限或者耗材损耗过度时,都会有报警提示,保证实验室用水水质的可靠性;

渗源科技工程师团队根据半导体洁净车间要求,优化了设备安装方案,并对操作人员进行了专业培训。此次合作彰显了渗源科技在半导体水处理领域的技术实力,公司将持续为行业提供更专业的超纯水解决方案,助力中国半导体产业高质量发展。

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