近日,成都渗源科技有限公司为西安晟光硅研半导体科技有限公司完成SYZ-V-20L实验室超纯水系统的安装调试,为这家专业半导体企业提供了符合SEMI标准的超纯水解决方案。
晟光硅研在半导体晶圆制备、器件封装等关键工艺环节对超纯水质量要求极为严苛。针对半导体行业对TOC、颗粒物和金属离子的特殊控制要求,渗源科技专业设计的SYZ-V-20L系统采用"双级反渗透+紫外+终端微滤"纯化工艺,产水电阻率稳定达到18.25MΩ·cm(25℃),TOC含量≤10ppb,颗粒物≤1个/mL,完全满足半导体精密制程的用水需求。
渗源科技工程师团队根据半导体洁净车间要求,优化了设备安装方案,并对操作人员进行了专业培训。此次合作彰显了渗源科技在半导体水处理领域的技术实力,公司将持续为行业提供更专业的超纯水解决方案,助力中国半导体产业高质量发展。
近日,成都渗源科技有限公司为西安晟光硅研半导体科技有限公司完成SYZ-V-20L实验室超纯水系统的安装调试,为这家专业半导体企业提供了符合SEMI标准的超纯水解决方案。
晟光硅研在半导体晶圆制备、器件封装等关键工艺环节对超纯水质量要求极为严苛。针对半导体行业对TOC、颗粒物和金属离子的特殊控制要求,渗源科技专业设计的SYZ-V-20L系统采用"双级反渗透+紫外+终端微滤"纯化工艺,产水电阻率稳定达到18.25MΩ·cm(25℃),TOC含量≤10ppb,颗粒物≤1个/mL,完全满足半导体精密制程的用水需求。
渗源科技工程师团队根据半导体洁净车间要求,优化了设备安装方案,并对操作人员进行了专业培训。此次合作彰显了渗源科技在半导体水处理领域的技术实力,公司将持续为行业提供更专业的超纯水解决方案,助力中国半导体产业高质量发展。
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