成都渗源科技助力西安晟光硅研半导体 SYZ-20L超纯水系统成功投运

近日,成都渗源科技有限公司为西安晟光硅研半导体科技有限公司再次定制安装的SYZ-20L实验室超纯水系统正式投入使用,为这家专业半导体材料研发企业提供了符合行业标准的超纯水解决方案。

西安晟光硅研在半导体晶圆制备、材料表征等关键工艺环节对超纯水质量要求极为严苛。针对半导体行业对TOC、颗粒物和金属离子的特殊要求,渗源科技设计的SYZ-20L系统采用"双级反渗透+多通道"纯化工艺,产水电阻率稳定达到18.25MΩ·cm(25℃)(在线监测),TOC含量≤20ppb,微颗粒物≤1个/mL,完全满足半导体材料清洗、蚀刻等精密工艺的用水需求。

该系统具备终端微滤单元,保证使用水质的可靠性。渗源工程师团队针对西北地区水质特点,强化了预处理单元,并优化了系统运行参数。智能控制系统可实时监测电导率、电阻率等关键水质指标,确保每一滴超纯水都符合相关标准。

此次合作彰显了渗源科技在半导体领域的技术实力。公司将持续为半导体行业提供更专业、更可靠的超纯水解决方案,助力中国半导体材料产业创新发展。

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