玻璃基板应用超纯水设备制备清洗用水

文章出处:网络 人气:发表时间:2023-03-27

玻璃基板是构成液晶显示器件的一个基本部件,这是一种表面极其平整的浮法生产薄玻璃片,现已被广泛应用于笔记本电脑、手机、摄像机、平板电脑等领域,玻璃基板的生产自动化系统的工序中,需要用超纯水冲洗基板并进行化学处理,而化学处理中化学液需要用一定浓度的化学原液与超纯水混合配置,化学液直接与工件进行接触,若超纯水设备产水水质不纯,将会影响产品良率。

玻璃基板超纯水传统制备工艺是采用阴阳树脂交换设备,该工艺的缺点在于树脂在使用一段时间以后要经常再生,随着膜分离技术的不断成熟,渗源常采用反渗透工艺,或是采用反渗透后面再经过电去离子EDI工艺、抛光混床来制取超纯水,保证出水水质符合行业标准,满足芯片行业用水需求。

玻璃基板超纯水设备主要具有以下特点:

1.全自动智能识别,并且具有故障预警功能,安全可靠。

2.操作简单,显示数据简明清晰,参数全面,易于综合考量分析。

3.纯化模块分工明确,部分更换不会影响总体工艺流程。

4.专业配备预处理模块,对进水有机物和余氯的去除更彻底,反渗透膜的使用寿命更长。

5.多功能脱盐净化处理单元,逐级脱盐处理,最终满足用水水质要求。

6.配备高精度的电阻率检测系统,全面监控超纯水设备的运行和水质变化。

7.运行成本和维修成本低,并且操作简单,劳动强度低。

渗源超纯水设备,超纯水精度可达美标E1.3,采用膜表面嫁接技术达到更好的脱盐率,能连续、稳定地生产高纯度的超纯水。已成功应用到晶圆、电子芯片、集成电路、精密仪器、电镀涂装、试剂稀释、氟化工等多个领域。

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